최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | KAIST 기계공학과 |
---|---|
연구책임자 | 김수현 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2002-10 |
주관부처 | 과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국과학재단 Korea Science and Engineering Foundtion |
등록번호 | TRKO200900073487 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | 분광 타원계측.광대역 박막두께 측정.박막 광특성 해석.편광 변화 측정.초정밀 구동 광메카니즘.게이트 산환막.반사율 측정.분광 결상 타원계측.단축 결상분광기.Spectroscopic Ellopsometer.Wide-range film thickness measurement.Film characteristic analysis.Polarization state detectiion.Ultra precise driving mechanism.Gate oxidization film.Reflectance measurement.Spectroscopic image ellipsometer.single axis imaging ellipsometer. |
본 과제는 최종 연구목인 '실시간 분광결상 타원계측기'의 개발을 위하여 연차별로 다음과 같이 연구를 수행하였다. 총 3차년도에 걸쳐, <1차년도> - 편광변화분석법에 기반한 단파장타원계측기의 광학모듈 회전 메카니즘 제작 - 단층박막의 해석기법 연구 <2차년도> - 타원계측기 시스템 제작 완료, 보정 및 표준 시료 측정 - 다층박막의 해석기법 연구 <3차년도> 편광변화분석법과 분광반사율 측정법을 결합한 분광결상타원계측기의 제작을 위한, - 단축결상 분광기 제작, 분광 타원계측기 제작 - 분광결상타원계측기의 보정법 및 측정 알고리즘 개
<1st year> - optical module rotating mechanism manufacture of single wavelength ellipsometry - research single surface film analysis technique <2nd year> - ellipsometer system manufacture, compensation and certified sample measurement <3re year> - single axis imaging ellipsometer manufacture spectro
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.