초록 ▼

o 나노 크기 박막의 기계적 물성 값을 측정할 수 있는 다양한 방법을 조사했음.
o 다양한 MEMS 가진기에 대한 기초 연구를 수행했음.
o 열 가진기 방식의 가진기를 시험편과 같이 제작하여 유용성을 입증했음.
o 다양한 종류의 정전기 구동 방식의 가진기를 시험편과 같이 제작하여 시험했음.
o 인장 시험과 피로시험을 수행할 수 있는 시스템을 개발하였음.
o 축 하중, 굽힘 하중 및 비틀림 하중을 인가할 수 있는 방식을 구현하였음.
o MEMS 가진기의 전압에 따른 변위 특성을 평가하였음.
o 미

o 나노 크기 박막의 기계적 물성 값을 측정할 수 있는 다양한 방법을 조사했음.
o 다양한 MEMS 가진기에 대한 기초 연구를 수행했음.
o 열 가진기 방식의 가진기를 시험편과 같이 제작하여 유용성을 입증했음.
o 다양한 종류의 정전기 구동 방식의 가진기를 시험편과 같이 제작하여 시험했음.
o 인장 시험과 피로시험을 수행할 수 있는 시스템을 개발하였음.
o 축 하중, 굽힘 하중 및 비틀림 하중을 인가할 수 있는 방식을 구현하였음.
o MEMS 가진기의 전압에 따른 변위 특성을 평가하였음.
o 미국 내의 관련 연구자를 방문하여 새로운 방식의 시험기 개발 가능성을 타진하였음.
o 칩상에서의 시험 (lab on a chip)에 대한 필요성 및 가능성을 타진함으로써 2단계 과제에 반영되도록 하였음.
o 시간적?경제적으로 많은 노력과 비용이 소요됨을 알 수 있었음.
o 상용화 가능성이 매우 높은 기술임.

Abstract ▼

Proof concept test: Proving the measurement concept using a commercial tester before applying a MEMS tester.
Development of in-line measurement techniques: Development of some in-line measurement techniques to measure the mechanical properties for a nano-sized structure using several MEMS actuato

Proof concept test: Proving the measurement concept using a commercial tester before applying a MEMS tester.
Development of in-line measurement techniques: Development of some in-line measurement techniques to measure the mechanical properties for a nano-sized structure using several MEMS actuators.

목차 Contents

• 제출문...1
• 보고서 초록...2
• 요약문...3
• SUMMARY...4
• CONTENTS...5
• 목차...6
• 제1장 연구개발과제의 개요...7
• 제2장 국내외 기술개발 현황...8
• 제3장 연구개발수행 내용 및 결과...9
• 제3.1절 연구개발 추진 체계...9
• 제3.2절 기계적 물성 값 실시간 평가 기술 조사 및 평가...10
• 제3.3절 MEMS 측정기 제작 및 평가...11
• 제4장 목표달성도 및 관련분야에의 기여도...17
• 제4.1절 목표 달성도...17
• 제4.2절 나노메카트로닉스 사업 최종 목표 달성에 기여도 ...18
• 제5장 연구개발결과의 활용계획...19
• 제5.1절 과학기술?학문적 중요성/의미...19
• 제5.2절 경제적 파급효과...19
• 제5.3절 향후 실용화 및 기업화 측면...19
• 제5.4절 파급효과...19
• 제6장 참고문헌...20