초록 ▼

1. 최종목표
전자빔(E-Beam)장비의 디지털온도제어 컨트롤러 개발은 전자빔(E-Beam)장비를 사용한 TFT 금속패턴 Evaporation시 Chamber의 프로세서 온도인 Substrate 온도와 Bake 히터온도를 센서를 통해 측정하고, 마이크로프로세서에 의해 센서의 입력신호를 비교분석하여 ±0.5[℃]범위의 온도편차를 유지할 수 있도록 할로겐램프 및 세라믹히터를 제어함으로써, Chamber내에 신뢰성 있고 안정된 최적의 공정분위기를 형성하고자 하며, 또한 나노소자개발을 위한 금속패턴 등의 다양한 공정에 따른 온도설정

1. 최종목표
전자빔(E-Beam)장비의 디지털온도제어 컨트롤러 개발은 전자빔(E-Beam)장비를 사용한 TFT 금속패턴 Evaporation시 Chamber의 프로세서 온도인 Substrate 온도와 Bake 히터온도를 센서를 통해 측정하고, 마이크로프로세서에 의해 센서의 입력신호를 비교분석하여 ±0.5[℃]범위의 온도편차를 유지할 수 있도록 할로겐램프 및 세라믹히터를 제어함으로써, Chamber내에 신뢰성 있고 안정된 최적의 공정분위기를 형성하고자 하며, 또한 나노소자개발을 위한 금속패턴 등의 다양한 공정에 따른 온도설정 변화에 대응하도록 설계하여 다양한 조건의 반도체공정을 수행할 수 있도록 설계?제작하고자 한다.
2. 개발내용 및 결과
① 전자빔(E-Beam)장비의 베이커 히팅온도와 기판온도를 동시에 보정할 수 있도록 마이크로컨트롤러를 사용하여 설정?제어할 수 있도록 시스템을 설계, 제작하였다.
② 정밀온도컨트롤보드의 온도센싱신호 및 히터제어출력신호에 처리능력을 최대로 확대설계하여 전자빔(E-Beam)장비 이외의 저온공정장비 개발 및 적용 할 수 있도록 설계, 제작하였다.
③ 사용자의 편리성 제고를 위한 액정디스플레이 및 키 입력방식으로 입?출력부를 구성하였다.
④ 정밀온도컨트롤보드를 온 보드 타입으로 설계하여 제어요소(온도, 가스비, RF Power,압력 등)에 따라 슬롯에 장착함으로써, 추후 반도체 공정장비의 연구개발 및 유지?보수가 용이하도록 확장성을 극대화 하였다.
3. 사업성과
○ 기술적 성과
-. 전자빔(E-Beam)의 디지털온도제어컨트롤러를 개발을 통해 반도체공정장비의 최적 제어기술과 반도체공정장비 개발을 위한 제어요소분석 기술력 확보.
-. 나노급소자 개발 및 공정에 활용될 전자빔(E-Beam)장비의 컨트롤기술을 습득, 유기발광다이오드 등의 공정라인 증설시 기술적 우위 확보.
-. 디지털제어방식의 제어컨트롤러 적용으로 장비의 Chamber를 제외한 기구의 소형, 경량화 및 장비구조의 다양화를 이룸.
-. 저온의 온도범위에서의 장비 호환성에 따른 장비설계 및 시스템화의 인적?물적 우위 선점.
○ 경제적 성과
-. 국내반도체장비의 국산율이 2006년 18[%]로 2[%] 정도 매년 감소하고 있는 실정에서 반도체장비의 공정파라미터의 제어요소분석을 통한 신뢰성 있는 장비개발을 통한 수입의존도를 낮추는 수입대체효과기대
-. 국내반도체장비개발은 초정밀가공, 초청정기술, 극한 기술 등 종합적 기술력을 필요로 함으로, 향후 반도체장비개발을 통한 전후방 산업의 기술적 파급효과가 큼.
○ 활용성과 등
-. 디지털온도제어방식의 컨트롤러임으로 정밀온도제어를 필요로 하는 각종 멀티미디어 장비의 개발에 적용되리라 생각된다.
-. 슬롯방식으로 컨트롤러를 구성하여 장착이 쉽고 조건변화에 가변적으로 대응할 수 있어 Up-Grade 장비 개발시 활용율이 높을 것이다.
-. 온도제어를 필요로 하는 전자기기의 온도조절장치로 활용이 가능하다.
4. 향후추진계획
-. 반도체공정변수 중 디지털온도제어컨트롤러 설계 및 제작기술 습득을 계기로 압력, 가스비, RF Power 등의 전 공정파라미터를 일괄 제어할 수 있는 시스템을 기술개발에 주력하여 반도체장비업체로 사업영역을 확대하고자 한다.
[실용신안출원 : 20-2007-007656 ‘반도체 제조장비의 분리형 제어장치’]

목차 Contents

• 표지 ...1
• 최종보고서 제출서 ...2
• □ 참여기업 최종보고서 제출내역 ...3
• 사업비 사용실적보고서 ...4
• 1. 과제별 비목집계 총괄표 ...4
• 2. 공동운영비 세부 집행내역 ...5
• 3. 과제별 세부 집행내역(과제별 작성) ...6
• 개발결과 의견서 ...8
• 최종보고요약서 (초록) ...9
• 목 차 ...11
• 제 1 장 연구개발의 개요 ...12
• 제 1 절 연구과제명 ...12
• 제 2 절 개발목표 ...12
• 제 2 장 연구개발의 내용 ...13
• 제 1 절 연구개발의 필요성 ...13
• 제 2 절 연구개발기술 내용 ...14
• 제 3 장 사업성과 ...19
• 제 1 절 기술적 연구성과 ...19
• 제 2 절 경제적 연구성과 ...19
• 제 4 장 결 론 ...20
• 제 1 절 연구개발 결과 ...20
• 제 2 절 향후 활용방안 및 추진계획 ...20