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NTIS 바로가기주관연구기관 | 주성대학 |
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연구책임자 | 최현식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2007-01 |
과제시작연도 | 2006 |
주관부처 | 중소기업청 |
사업 관리 기관 | 중소기업기술정보진흥원 |
등록번호 | TRKO201100011369 |
과제고유번호 | 1420013110 |
사업명 | 산학연공동기술개발(균특) |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
1. 최종목표
전자빔(E-Beam)장비의 디지털온도제어 컨트롤러 개발은 전자빔(E-Beam)장비를 사용한 TFT 금속패턴 Evaporation시 Chamber의 프로세서 온도인 Substrate 온도와 Bake 히터온도를 센서를 통해 측정하고, 마이크로프로세서에 의해 센서의 입력신호를 비교분석하여 ±0.5[℃]범위의 온도편차를 유지할 수 있도록 할로겐램프 및 세라믹히터를 제어함으로써, Chamber내에 신뢰성 있고 안정된 최적의 공정분위기를 형성하고자 하며, 또한 나노소자개발을 위한 금속패턴 등의 다양한 공정에 따른 온도설정
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