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NTIS 바로가기주관연구기관 | 전자부품연구원 Korean Electronics Technology Institute |
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연구책임자 | 홍성제 |
참여연구자 | 문대규 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2005-12 |
주관부처 | 산업자원부 |
사업 관리 기관 | 한국산업기술진흥원 |
등록번호 | TRKO201200004601 |
DB 구축일자 | 2013-05-20 |
O 반도체 제조용 CVD 장비의 구성품인 PEDESTAL(히터) 제작 기술 확보
⋅PEDESTAL HEATER의 온도 측정 기술 확보
- 대기중에서 히터의 온도 측정을 위한 point 설정 방법
- 대기중에서 히터의 온도 측정 기술 확보
- 진공중에서 히터의 온도 측정을 위한 point 설정 방법
- 진공중에서 히터의 온도 측정 기술 확보
- CVD 챔버의 가스 흐름 내에서 히터의 온도 측정 기술 확보
⋅PEDESTAL HEATER의 신뢰성 시험 기술 확보
- 온도 및 습도 범위 설정 기술
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