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NTIS 바로가기주관연구기관 | 제주대학교 Cheju National University |
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연구책임자 | 최치규 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-06 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300010234 |
과제고유번호 | 1345155162 |
DB 구축일자 | 2013-06-29 |
1) 1차년도
: 1차 년도에서는 PAALD 방법에 의하여 증착된 nano-pore 구조를 갖는 SiOC(-H) 초박막의 반응기구, 물리적 성질 그리고 형성조건을 수립한다.
1. PAALD system set up: 기존의 ALD장비에 플라즈마를 발생시켜 플라즈마 밀도 및 전자 온도를 제어
- TMA+Ar 플라즈마 밀도 및 전자 온도 측정 (Langmuir probe) : Ne (
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