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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국세라믹기술원 |
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연구책임자 | 김영희 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 산업통상자원부 |
과제관리전문기관 | 한국산업기술진흥원 Korea Institute for Advancement of Technology |
등록번호 | TRKO201300032174 |
과제고유번호 | 1415127959 |
사업명 | 산업기술국제협력 |
DB 구축일자 | 2014-01-13 |
키워드 | β-탄화규소 분말.알콕사이드전구체.단결정.LED 기판.전력소자.β- SiC Powder.Alkoxide Precursor.Single crystal growing.LED substrate.Power device. |
핵심기술
-고순도 β-SiC 분말를 제조하기 위한 전구체 개발
-β-SiC 분말 입도를 제어를 위한 thermocycle 기술을 개발함
-고품위 SiC 단결정 성장기술
최종목표
Beta- SiC particle size: >100㎛, SiC powder purity: 99.999%, N,B, Al impurity: 10ppm
Surface Area: < 5m2/g, SiC single crystal diameter: 3 inch, Defect Density: 2/cm2
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