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NTIS 바로가기주관연구기관 | 이화여자대학교 Ewha Womans University |
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연구책임자 | 신형순 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201300033498 |
과제고유번호 | 1345172263 |
사업명 | 기본연구지원사업(유형I) |
DB 구축일자 | 2014-01-13 |
현재 반도체 업계에서는 초고속, 저전력 회로 구현을 위한 차세대 소자 계발이 활발히 이루어지고 있으며, 그 방법의 하나로, channel 영역에 물리적 힘을 가하여 carrier의 이동 속도를 높이는 strained 소자가 주목받고 있다. 그러나 이와 같은 strained 소자의 경우 학계에서 깊이있는 연구가 진행 된 후, 산업계로 확장되어 실용화 된 것이 아니라, 실험에 의해 소자 특성을 개선하는 방법으로 먼저 개발이 되었기 때문에, 현재 strained 소자에 대한 물리적 특성 분석 및 소자 특성 연구는 학계에서 많이 부족한 상
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