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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)휴템 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500016791 |
과제고유번호 | 1425072710 |
사업명 | 기술혁신개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-24 |
키워드 | 웨이퍼 본더.수직형 LED.냉각조절.압력 균일도.온도 균일도. |
□개발목표
계 획
RF heater의 Heating/Cooling Time 조절을 통한 생산량 0.8hr 이상 생산이 가능한양산형 대면적 웨이퍼본딩 시스템 제작(6“, 8”)
실 적
RF heater의 Heating/Cooling Time 조절을 통한 생산량 0.8hr 이상 생산이 가능한 양산형 대면적 웨이퍼본딩 시스템 제작(6“, 8”)
□정량적 목표항목 및 달성도
1. 냉각속도................/min :계획(≧20),실적( 1. 냉각속도................/min )
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