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NTIS 바로가기주관연구기관 | (주)나노세미콘 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2012-05 |
과제시작연도 | 2011 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
등록번호 | TRKO201500017574 |
과제고유번호 | 1425069620 |
사업명 | 창업성장기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-31 |
키워드 | 웨이퍼선별.웨이퍼덤퍼.이송로봇.엘피엠.Wafer Sorter.Wafer Dumper. |
개발목표
계 획
◦ SEMI 규격(SEMI-E63)에 맞는 LPM 사양으로 Compact footprint & design 개발
◦ LPM 1 to LPM 4 까지 대응 되도록 개발진행
◦ 2arm 2 end effector Robot 개발
◦ Pre-aligner가 되도록 개발 진행
◦ Class1 mini-environment 사용하도록 개발 진행
◦ Safety interlock robot motion 및 LPM motion이 되도록 개발 진행
실 적
◦ SEMI 규격(SEMI-
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