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NTIS 바로가기주관연구기관 | 피디시테크놀로지 |
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보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2014-08 |
과제시작연도 | 2013 |
주관부처 | 중소기업청 Small and Medium Business Administration |
과제관리전문기관 | 중소기업기술정보진흥원 Korea Technology & Information Promotion Agency for SMEs |
등록번호 | TRKO201500018660 |
과제고유번호 | 1425080056 |
사업명 | 민관공동투자기술개발사업 |
DB 구축일자 | 2015-10-03 |
키워드 | 유기물.증발.하향식.불순물.선형. |
□ 개발목표
계 획
파티클 억제가 가능한 하향식 선형 증발원 개발
실 적
파티클 억제가 가능한 하향식 선형 증발원 개발
□ 정량적 목표 항목 및 달성도
1. 물질 변성I : 계획(99.9% 이상), 실적(HPLC 측정/샘플 3)
2. 물질 변성II : 계획(5 nm 이하), 실적(PL 측정/샘플 5)
3. 막 균일도 : 계획(97.5±2.5 이하), 실적(박막두께 측정/샘플 10)
4. 가스 플럭스 : 계획(5Å/s 이상), 실적(QCM 측정/샘플 10)
5. 물질 사용도
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