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보고서 상세정보

고온용 multi-zone 질화알루미늄(AlN) 히터개발

과제명 고온용 multi-zone 질화알루미늄(AlN) 히터개발
주관연구기관 보부하이테크
보고서유형 최종보고서
발행국가 대한민국
언어 한국어
발행년월 2017-07
과제시작년도 2016
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
등록번호 TRKO201800040251
과제고유번호 1711041050
사업명 전자정보디바이스산업원천기술개발
DB 구축일자 2018-09-22
키워드 세라믹 히터.질화알루미늄.열전도도.브레이징.열적 균일성.
초록

핵심기술
600℃ 이상의 고온에서 온도 균일도가 균일하게 할 수 있는 열선 설계 및 AlN 히터 제조 공정 기술

최종목표
400℃/600℃ multi-zone 정밀 온도 제어가 가능한 AlN 히터 개발
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표 / 그림 (122)