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[국가R&D연구보고서] 고온용 multi-zone 질화알루미늄(AlN) 히터개발 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 보부하이테크
연구책임자 김봉수
보고서유형최종보고서
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월2017-07
과제시작연도 2016
주관부처 산업통상자원부
Ministry of Trade, Industry and Energy
연구관리전문기관 한국산업기술평가관리원
Korea Evaluation Institute of Industrial Technology
등록번호 TRKO201800040251
과제고유번호 1711041050
사업명 전자정보디바이스산업원천기술개발
DB 구축일자 2018-09-22
키워드 세라믹 히터.질화알루미늄.열전도도.브레이징.열적 균일성.

초록 ▼

핵심기술
600℃ 이상의 고온에서 온도 균일도가 균일하게 할 수 있는 열선 설계 및 AlN 히터 제조 공정 기술

최종목표
400℃/600℃ multi-zone 정밀 온도 제어가 가능한 AlN 히터 개발
- 600℃ 이상 온도 제어가 가능한 열선 설계 및 제조 기술 개발
- 다층 매립형 AlN 히터 제조 공정 기술
- Multi-zone 온도 제어가 가능한 히터 시스템 개발
- 샤프트, 기판, 접합용 glass 소재 개발
- 브레이징 기술 개발

개발내용 및 결과
증착

목차 Contents

  • 표지 ... 1
  • 제출문 ... 2
  • 기술개발사업 최종보고서 초록 ... 3
  • 기술개발사업 주요 연구성과 ... 7
  • 목차 ... 12
  • 제 1 장 서론 ... 13
  • 제 1 절 과제의 개요 ... 13
  • 제 2 장 과제 수행의 내용 및 결과(기술개발 내용 및 방법) ... 15
  • 제 1 절 최종 목표 및 평가 방법 ... 15
  • 제 2 절 단계 목표 및 평가 방법 ... 18
  • 제 3 절 연차별 개발 내용 및 개발 범위 ... 20
  • 제 4 절 수행 결과의 보안등급 ... 92
  • 제 5 절 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리 현황 ... 93
  • 제 3 장 결과 ... 94
  • 제 1 절 연구개발 최종 결과 ... 94
  • 연구개발 추진 일정 ... 94
  • 연구개발 추진 실적 ... 97
  • 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 전체를 기재 ... 102
  • 제 2 절 연구개발 추진 체계 ... 103
  • 1. 주관기관 ((주)보부하이테크) ... 103
  • 2. 참여기관 (한국세라믹기술원) ... 103
  • 제 3 절 고용 창출 효과 ... 104
  • 제 4 절 자체보안관리진단표 ... 105
  • 제 4 장 사업화 계획 ... 106
  • 제 1 절 시장 현황 및 전망 ... 106
  • 제 2 절 사업화 계획 ... 106
  • 1. 사업화 계획 ... 106
  • 2. 마케팅 계획 ... 106
  • 제 3 절 향후 추가 기술 개발 계획(개발기술 응용 등) ... 107
  • 끝페이지 ... 108

표/그림 (122)

참고문헌 (25)

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