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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국생산기술연구원 Korea Institute of Industrial Technology |
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연구책임자 | 임진호 |
참여연구자 | 김양곤 , 박휘근 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-09 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202100008294 |
과제고유번호 | 1711125081 |
사업명 | 한국생산기술연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2021-08-14 |
키워드 | 반도체공정.에피공정.서셉터.경사구조.탄화규소.Semiconductor.EPI process.SUSCEPTOR.Slope.SiC. |
□기업의 애로사항
○ 반도체 부품 관련 측정 / 분석 관련 장비 부족
○ 반도체 부품의 설계 안정성 확보를 위한 해석 및 분석 기술 미확보
□지원(해결) 내용
○ 연구(지원)내용 기입
- 기존 Graphite 소재를 이용한 수입 EPI SUSCEPTOR가 가지는 문제를 개선하기 위해, SiC 소재의 국산화 EPI SUSCEPTOR를 개발
- 고경도 난삭재 SiC 소재의 복잡 형상구현을 위한 가공기술 개발
- 실리콘 웨이퍼 열해석을 통한 플라즈마 공정 조건 간 열분포 및 열변형성 분석을 통
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