최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 나노종합기술원 |
---|---|
연구책임자 | 임성규 |
참여연구자 | 박근오 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-12 |
과제시작연도 | 2020 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
과제관리전문기관 | 나노종합기술원 |
등록번호 | TRKO202100009477 |
과제고유번호 | 1711125533 |
사업명 | 한국과학기술원부설나노종합기술원지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2021-08-28 |
키워드 | 공정.진단.광 센서. |
연구목표
□ 차세대 반도체 공정 진단제어를 위한 광 진단센서 고도화 및 양산 시제품 실 공정 평가
◦ 고 분해능 OES를 이용한 Metal Etch EPD 양산 시제품 평가 및 제품 고도화
◦ 가스온도(Tg) 측정기능 내장형 광대역 Embedded OES 양산시제품 제작 및 평가
◦ 전자온도(Te) 측정용 고 분해능 OES 양산 시제품 평가 및 제품 고도화
◦ 실시간 NIR-SWIR 공정 진단 센서 시제품 제작 및 평가
연구내용
1. 고 분해능 OE
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.