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NTIS 바로가기주관연구기관 | 덕산테코피아 |
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연구책임자 | 이대원 |
참여연구자 | 정병현 , 김용성 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2018-07 |
과제시작연도 | 2017 |
주관부처 | 산업통상자원부 Ministry of Trade, Industry and Energy |
등록번호 | TRKO202200007219 |
과제고유번호 | 1415152559 |
사업명 | 생산시스템산업전문기술개발 |
DB 구축일자 | 2022-09-03 |
키워드 | 포토레지스트.수계박리제.생분해성 성분.친환경 조성.박리효율.내부식성. |
3. 개발결과 요약
최종목표
▶ 친환경 고성능 수계 박리액 및 적용공정 기술 개발
- 생분해성 기반 신규 수용성 포토레지스트 박리제 성분 개발
- 고효율 및 내부식성의 수계 박리액 및 적용공정 기술 개발
- LCA기반 온실가스 저감율 평가
개발내용 및 결과
▶ 개발 내용 및 결과
- 생분해성 박리활성성분 개발: 특허 3건 출원
- 친환경 수계 박리제 개발: 40℃, 40초 무잔사특성, 공정특허 4건 출원
- LCA기반 온실가스 저감율: 온실가스 저감율 68%
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