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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국기초과학지원연구원 Korea Basic Science Institute |
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연구책임자 | 홍태은 |
참여연구자 | 홍경수 , 김현규 , 옥정우 , 변미랑 , 성지영 , 김다영 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2020-01 |
과제시작연도 | 2019 |
주관부처 | 과학기술정보통신부 Ministry of Science and ICT |
등록번호 | TRKO202200008452 |
과제고유번호 | 1711102108 |
사업명 | 한국기초과학지원연구원연구운영비지원(R&D)(주요사업비) |
DB 구축일자 | 2022-08-06 |
키워드 | 파워반도체.표면분석.클러스터 분석.플랫폼.Semiconductor.Surface Analysis.Cluster.Analysis Platform. |
1. 파워반도체 공정/소자 표면 분석 연구 지원
2. 파워반도체 공정소재 물성 연구
3. 파워반도체 상용화센터, 신뢰성 센터와 연계한 “표면 분석지원 플랫폼” 구축 및 운영
(출처 : 요약서 3p)
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