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NTIS 바로가기대한화학회지 = Journal of the Korean Chemical Society, v.46 no.5, 2002년, pp.437 - 471
이은주 (부경대학교 공과대학 화상정보공학부) , 홍경일 (부경대학교 공과대학 화상정보공학부) , 임권택 (부경대학교 공과대학 화상정보공학부) , 정용석 (부경대학교 공과대학 화상정보공학부) , 홍성수 (부경대학교 공과대학 화학공학부) , 정연태 (부경대학교 공과대학 화상정보공학부)
The photosensitivity enhancement of photoresist achieved by the addition of acid amplifiers stems from the autocatalytic decomposition of the acid amplifiers triggered by acidic species generated from a photoacid gen-erator. In this research we synthesized and evaluated 4-hydroxy-4'-p-styrenesulfony...
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