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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2001-0076481 (2001-12-05) |
공개번호 | 10-2003-0046085 (2003-06-12) |
등록번호 | 10-0526337-0000 (2005-10-28) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020010076481 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2003-12-24) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 삼불화 질소 가스의 정제방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 150∼600℃에서 30분∼100시간 동안 가열처리된 제올라이트(MS-5A)가 충전된 제1칼럼을 통하여 N2O 및 CF4를 포함하는 삼불화 질소 가스를 통기시켜, N2O를 제거하는 단계; 및 150∼600℃에서 4∼20시간 동안 가열처리된 제올라이트(MS-5A) 100 중량부에 대하여 물을 10∼30중량부 함유시켜 150∼600 ℃에서 1∼20 시간 동안 수열처리시켜 형성된 제올라이트가 충전된 제2칼럼을 통하여 상기 제1칼럼을 통과한 삼불화 질소 가스를 통기시켜
150∼600℃에서 30분∼100시간 동안 가열처리된 제올라이트(MS-5A)가 충전된 제1칼럼을 통하여 N2O 및 CF4를 포함하는 삼불화 질소 가스를 통기시켜, N2O를 제거하는 단계; 및150∼600℃에서 4∼20시간 동안 가열처리된 제올라이트(MS-5A) 100 중량부에 대하여 물을 10∼30중량부 함유시켜 150∼600℃에서 1∼20시간 동안 수열처리시켜 형성된 제올라이트가 충전된 제2칼럼을 통하여 상기 제1칼럼을 통과한 삼불화 질소 가스를 통기시켜 NF3를 흡착시키는 단계를 포함하는 삼불화 질소 가스의 정제방법.
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