다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
|
| 출원번호 | 10-2002-0013189 (2002-03-12) |
| 공개번호 | 10-2003-0073560 (2003-09-19) |
| 등록번호 | 10-0806810-0000 (2008-02-18) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020020013189 |
| 발명자 / 주소 | |
| 출원인 / 주소 |
|
| 대리인 / 주소 |
|
| 심사청구여부 | 있음 (2007-03-05) |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) |
| 법적상태 | 소멸 |
본 발명은 플라스틱 기판을 패터닝시키기 위한 노광기에 관한 것으로서, 본 발명의 노광기는 자외선 광을 출사하여 플라스틱 기판 상에 도포된 PR을 감광시키기 위한 광원과, 상기 광원에서 출사된 자외선 광을 일방향으로 조사시키기 위한 슬릿과, 상기 슬릿을 통과한 광으로 상기 PR을 실루엣 패턴하기 위한 마스크와, 상기 마스크를 통과한 광의 경로를 변경하고 상기 플라스틱 기판 상에 초점을 맞추기 위한 광학계와, 상기 플라스틱 기판을 지지하고 상기 마스크의 이동에 따라 상기 플라스틱 기판을 평탄하게 이동시키기 위한 롤러로 구성되기 때문에
자외선 광을 출사하여 플라스틱 기판 상에 도포된 PR을 감광시키기 위한 광원과,상기 광원에서 출사된 자외선 광을 일방향으로 조사시키기 위한 슬릿과,상기 슬릿을 통과한 광으로 상기 PR을 실루엣 패턴하기 위한 마스크와,상기 마스크를 통과한 광의 경로를 변경하고 상기 플라스틱 기판 상에 초점을 맞추기 위한 광학계와,상기 플라스틱 기판을 지지하고 상기 마스크의 이동에 따라 상기 플라스틱 기판을 평탄하게 이동시키기 위한 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광기.
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.