초록

본 발명은 노광될 기판에서 노광 영역을 연속적으로 또는 순차적으로 이동하면서 소정 패턴을 노광하는 노광 장치에 관한 것이다. 상기 장치는 기판의 두께 변동이 크게 발생하는 특정 방향을 따라 노광 영역을 이동시키는 소자, 기판 표면의 변위를 검출하는 소자 및 기판 표면의 경사 및 높이를 제어하는 소자를 포함한다. 경사와 수직 이동이 상기 검출된 변위에 따라 수행된다. 노광을 위한 표면은 노광 시간 도중의 임의의 시간에 기판 표면과 대략 대응하도록 되어 있다.

대표청구항 ▼

노광될 기판 상에 노광 영역을 연속적으로 또는 순차적으로 이동시키면서 소정 패턴을 노광하는 노광 방법에 있어서, 상기 기판의 노광면에 존재하는 굴곡 방향을 따라 노광 영역을 이동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.제1항에 있어서,상기 기판의 노광면의 굴곡은 기판의 두께 변동에 의해 생기는 것을 특징으로 하는 노광 방법.제1항에 있어서, 상기 이동 방향과 직각으로 교차하는 방향의 노광 영역 측은 이동 방향의 노광 영역 측보다 더 긴 것을 특징으로 하는 노광 방법.제1항에 있어서, 상기 노광될 기판은 유리 기판이고, 상

노광될 기판 상에 노광 영역을 연속적으로 또는 순차적으로 이동시키면서 소정 패턴을 노광하는 노광 방법에 있어서, 상기 기판의 노광면에 존재하는 굴곡 방향을 따라 노광 영역을 이동하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.제1항에 있어서,상기 기판의 노광면의 굴곡은 기판의 두께 변동에 의해 생기는 것을 특징으로 하는 노광 방법.제1항에 있어서, 상기 이동 방향과 직각으로 교차하는 방향의 노광 영역 측은 이동 방향의 노광 영역 측보다 더 긴 것을 특징으로 하는 노광 방법.제1항에 있어서, 상기 노광될 기판은 유리 기판이고, 상기 유리 기판의 두께 변동은 특정 방향에서 크고, 두께 변동이 생긴 방향은 유리 기판의 제조 시의 인발 방향과 대략 직각으로 교차하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.제1항에 있어서, 더욱이 상기 기판의 노광면의 변위를 검출하는 단계;상기 검출된 변위에 따라 기판 표면의 경사 및 높이를 제어하는 단계; 및경사 및 높이가 제어되는 기판의 노광면에 존재하는 굴곡의 방향을 따라 상기 노광 영역을 이동시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.제1항에 있어서, 상기 검출 단계는 기판 표면에 인가된 광의 반사된 광 빔을 수광하여 기판 표면의 굴곡 또는 파동 상태를 측정하는 것을 특징으로 하는 노광 방법.기판 상에서 노광 영역을 연속적으로 또는 순차적으로 이동시키면서 소정 패턴을 노광시키기 위하여, 노광될 기판의 노광면의 변위를 검출하는 기구를 포함하며, 상기 기판의 노광면에 존재하는 굴곡의 방향을 따라 노광 영역을 이동시키는 기구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.기판 상에서 노광 영역을 연속적으로 또는 순차적으로 이동시키면서 소정 패턴을 노광시키기 위하여, 노광될 기판의 노광면의 변위를 검출하는 기구와 기판 표면의 경사 및 높이를 제어하기 위한 수단을 포함하며, 상기 검출된 변위에 따라 기판 표면의 경사 및 높이를 제어하기 위한 수단과, 상기 표면이 기판 표면에 대략 대응하도록 하는 기판의 두께 변동이 노광 도중의 임의의 시간에 크게 발생하는 특정 방향을 따라 노광 영역을 이동시키기 위한 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.제8항에 있어서, 상기 기판 표면의 경사 제어시, 두께 변동이 큰 방향과 상기 두께 변동이 큰 방향과 직각으로 교차하는 방향 중 적어도 하나는 경사 축으로 이용되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.제9항에 있어서, 기판 표면의 경사 제어시, 기판이 놓여지는 스테이지의 4개의 모서리는 수직으로 이동되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.노광될 기판 상에서 노광 영역을 연속적으로 또는 순차적으로 이동하면서 소정 패턴을 노광하는 노광 장치에 있어서, 상기 노광 영역을 기판의 두께 변동이 크게 발생하는 특정 방향을 따라 이동시키기 위한 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.제11항에 있어서, 상기 이동 방향과 수직으로 교차하는 방향의 노광 영역 측이 상기 이동 방향의 노광 영역 측보다 더 긴 것을 특징으로 하는 노광 장치.제11항에 있어서, 상기 기판 표면의 변위를 검출하기 위한 수단; 및상기 기판 표면의 경사 및 높이를 제어하기 위한 수단을 더 포함하며, 상기 기판 표면의 경사 및 높이는 상기 검출된 변위에 따라 제어되고, 상기 노광면은 노광 시간 도중의 임의의 시간에 기판 표면에 대략 대응하게 되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.제13항에 있어서, 상기 기판 표면의 경사 제어시, 두께 변동이 큰 방향과, 상기 두께 변동이 큰 방향과 직각으로 교차하는 방향 중 적어도 어느 하나가 경사 축으로 이용되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.제14항에 있어서, 상기 기판 표면의 경사 제어시, 상기 기판이 놓여지는 스테이지의 4개의 모서리는 수직으로 이동되는 것을 특징으로 하는 노광 장치.스테이지에 구비된 대상물을 가공하는 장치에 있어서, 상기 대상물 표면의 굴곡 또는 두께 불균일을 검출하기 위한 검출 수단;상기 대상물의 표면을 연장시킨 방향과 직각으로 교차하는 방향으로 변위 가능한 복수의 변위 기구가 적어도 4개의 모서리에 구비되어 있으며, 상기 복수의 변위 기구는 상기 검출 수단에 의해 검출된 변위를 상쇄시키는 방향으로 개별적으로 이동되는 유지 수단; 및상기지지 기구의 유지 수단의 이동량을 제어하기 위한 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.제16항에 있어서, 상기 제어 수단은 상기지지 기구의 유지 수단의 이동량을 상기 유지 수단의 소정의 단일 축 방향으로 제어하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.제16항에 있어서, 상기 제어 수단은 상기 유지 수단의 평면 방향과 직각으로 교차하는 2축 방향에 따라 상기지지 기구의 유지 수단의 이동량을 제어하는 것을 특징으로 하는 노광 장치.<