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연합인증

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리프트 핀 구동장치 및 이것을 구비한 평판표시소자 제조장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/687
출원번호 10-2006-0125286 (2006-12-11)
공개번호 10-2008-0053572 (2008-06-16)
등록번호 10-1426277-0000 (2014-07-29)
DOI http://doi.org/10.8080/1020060125286
발명자 / 주소
  • 김종선 / 경기도 성남시 중원구 박석로**번길 **-* (상대원동)
출원인 / 주소
  • 엘아이지에이디피 주식회사 / 경기도 성남시 중원구 갈마치로 *** (상대원동)
대리인 / 주소
  • 특허법인충정
심사청구여부 있음 (2011-12-12)
심사진행상태 등록결정(심사전치후)
법적상태 소멸

초록

본 발명에 따른 리프트 핀 구동장치 및 이것을 구비한 평판표시소자 제조장치는, 다수의 리프트 핀이 설치된 핀 플레이트의 가장자리 영역에 리프트 핀 승강 구동장치를 구성하되, 상기 핀 플레이트를 승강시키는 구동수단을 하나의 모터에 의해 복수의 타이밍 벨트들이 풀리들을 연동시켜서 이루어지도록 구성하고, 상기 타이밍 벨트들의 장력을 조절하기 위한 텐셔너가 동시에 상기 타이밍 벨트들의 처짐을 예방하도록 하여 상기 타이밍 벨트들의 장력을 일정하게 조절가능하도록 함으로써, 모든 리프트 핀의 승강 작동이 정확하게 이루어져서 결국 기판이 정확하게

대표청구항

기판이 탑재되는 탑재수단과;상기 탑재수단에 관통되게 배치되어 상기 기판을 승강시키게 되는 복수의 리프트 핀들과;상기 리프트 핀들이 설치되고 승강이 이루어지는 핀 플레이트와;상기 핀 플레이트를 승강시키기 위한 것으로서, 구동모터와, 상기 구동모터의 구동에 따라 동력전달수단으로 연결되어 연동되는 복수의 풀리들로 이루어진 구동수단 및;상기 동력전달수단의 장력을 조절하기 위하여 상기 동력전달수단의 일부와 밀착되고 전후진이 가능하되, 상기 동력전달수단의 일부를 받쳐서 그 처짐이 예방되도록 하는 것으로서, 상기 동력전달수단의 일부와 밀착되어

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [한국] Z스테이지 | 미우라 기요토시
  2. [일본] SUBSTRATE THERMAL PROCESSING DEVICE | TSUJI MASAO, OTANI MASAMI
  3. [일본] WORK CARRIER DEVICE AND ATTITUDE HOLDING METHOD OF WORK CARRIER DEVICE | OJI NARUTOSHI, YANAGI KUNIKAZU

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 리프트 구동 어셈블리 | 김용수, 김형원, 정희석
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