초록 ▼

웨이퍼 척에 놓여진 상태에서 프로브 카드를 이용하여 웨이퍼의 전기적인 특성에 대한 테스트가 이루어진다. 상온 상태에서 웨이퍼의 전기적인 특성을 테스트하기 위해서, 웨이퍼 척은 웨이퍼를 일정 온도로 냉각시킨다. 웨이퍼 척의 내부에는 복수의 열전소자들이 웨이퍼 척의 상부면과 나란한 방향으로 배치되며, 상기 열전소자들에 대하여 전류가 인가된다. 복수의 열전소자들은 인가되는 전류의 방향에 따라 웨이퍼 척의 상부면을 냉각하기도 하며, 웨이퍼 척의 상부면을 가열하기도 한다. 고온 상태에서 웨이퍼의 전기적인 특성을 테스트하기 위해서, 웨이퍼 척

웨이퍼 척에 놓여진 상태에서 프로브 카드를 이용하여 웨이퍼의 전기적인 특성에 대한 테스트가 이루어진다. 상온 상태에서 웨이퍼의 전기적인 특성을 테스트하기 위해서, 웨이퍼 척은 웨이퍼를 일정 온도로 냉각시킨다. 웨이퍼 척의 내부에는 복수의 열전소자들이 웨이퍼 척의 상부면과 나란한 방향으로 배치되며, 상기 열전소자들에 대하여 전류가 인가된다. 복수의 열전소자들은 인가되는 전류의 방향에 따라 웨이퍼 척의 상부면을 냉각하기도 하며, 웨이퍼 척의 상부면을 가열하기도 한다. 고온 상태에서 웨이퍼의 전기적인 특성을 테스트하기 위해서, 웨이퍼 척은 웨이퍼를 일정 온도로 가열하기도 한다. 웨이퍼 척의 상부면은 웨이퍼 척 상에 설치된 히팅코일에 의하여 가열될 수도 있다.

대표청구항

웨이퍼의 전기적 특성을 테스트하는 장치에 있어서,공정진행시 웨이퍼가 놓여지는 웨이퍼 척;상기 웨이퍼 척의 상부에 제공되며, 상기 웨이퍼의 전기적 특성을 시험하기 위한 프로브 카드; 및상기 프로브 카드가 장착되는 테스트 헤드를 포함하되,상기 웨이퍼 척은,상부면에 상기 웨이퍼가 놓여지며, 내부에 공간이 제공되는 하우징; 및상기 하우징의 내부에 설치되며, 복수의 열전소자들을 포함하는 온도조절유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.

웨이퍼의 전기적 특성을 테스트하는 장치에 있어서,공정진행시 웨이퍼가 놓여지는 웨이퍼 척;상기 웨이퍼 척의 상부에 제공되며, 상기 웨이퍼의 전기적 특성을 시험하기 위한 프로브 카드; 및상기 프로브 카드가 장착되는 테스트 헤드를 포함하되,상기 웨이퍼 척은,상부면에 상기 웨이퍼가 놓여지며, 내부에 공간이 제공되는 하우징; 및상기 하우징의 내부에 설치되며, 복수의 열전소자들을 포함하는 온도조절유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 장치.