초록

평탄도 조절 어셈블리와 이를 포함하는 전기 검사 장치 및 이를 이용한 평탄도 조절 방법이 개시된다. 전기 검사 장치는 피검사체와 접촉 가능한 제1 표면 그리고 상기 제1 표면과 대향하는 제2 표면을 갖는 제1 기판과, 상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판을 포함한다. 그리고, 전기 검사 장치는 평탄도 조절 어셈블리로써 서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합하고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 평탄부를 포함한다.

대표청구항 ▼

피검사체와 접촉 가능한 제1 표면을 갖는 제1 기판과 상기 제1 표면과 대향하는 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판을 서로 연결하는 연결부; 및상기 연결부와 비탄성적으로 결합되고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 조절부를 포함하는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리.제1 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 제2 기판을 관통하는 홀로부터 상기 제1 기판에 형성된 홈에 연속적으로 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제2 기판의 홀에 의해 노출된 연결부와 나사 결합하는

피검사체와 접촉 가능한 제1 표면을 갖는 제1 기판과 상기 제1 표면과 대향하는 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판을 서로 연결하는 연결부; 및상기 연결부와 비탄성적으로 결합되고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 조절부를 포함하는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리.제1 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 제2 기판을 관통하는 홀로부터 상기 제1 기판에 형성된 홈에 연속적으로 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제2 기판의 홀에 의해 노출된 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리.제1 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 제1 기판을 관통하는 홀로부터 상기 제2 기판에 형성된 홈에 연속적으로 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제1 기판의 홀에 의해 노출된 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리.제1 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 제1 기판에 형성되는 홈에 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제2 기판에 형성된 홀을 관통하여 상기 제1 기판에 형성된 홈에 끼워진 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리.제1 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 제2 기판에 형성되는 홈에 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제1 기판에 형성된 홀을 관통하여 상기 제2 기판에 형성된 홈에 끼워진 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리.제1 항에 있어서, 상기 연결부를 사용하여 제1 기판과 제2 기판을 연결시킬 때 상기 연결부를 고정시키는 연결-고정부; 및상기 조절부를 사용하여 연결부와 결합시킬 때 상기 조절부를 고정시키는 조절-고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치용 평탄도 조절 어셈블리.피검사체와 접촉 가능한 제1 표면 그리고 상기 제1 표면과 대향하는 제2 표면을 갖는 제1 기판;상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판; 및서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합하고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 평탄부를 포함하는 전기 검사 장치.제7 항에 있어서, 상기 평탄부는,상기 제1 기판과 제2 기판을 서로 연결하는 연결부; 및상기 연결부와 비탄성적으로 결합되고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제7 항에 있어서, 상기 평탄부는 서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합할 때 상기 제1 기판과 제2 기판 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심을 제외한 영역에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제9 항에 있어서, 상기 평탄부는 상기 제1 기판과 제2 기판 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심으로부터 가장자리를 100으로 기준할 때 상기 중심으로부터 70 이후의 외곽 영역에 적어도 두 개가 상기 중심을 기준으로 양쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제7 항에 있어서, 상기 연결부를 사용하여 제1 기판과 제2 기판을 연결시킬 때 상기 연결부를 고정시키는 연결-고정부; 및상기 조절부를 사용하여 연결부와 결합시킬 때 상기 조절부를 고정시키는 조절-고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제7 항에 있어서, 상기 제1 기판과 제2 기판은 전기적으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제1 표면에는 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브 팁들을 갖고, 상기 제1 표면에 대향하는 제2 표면에는 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 패드들을 갖는 제1 기판;상기 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판;서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 개재되고, 상기 제1 기판의 제2 표면에 형성된 패드들과 접촉하여 상기 제1 기판과 제2 기판을 전기적으로 연결하는 전기-접촉부; 및서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합하고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 평탄부를 포함하는 전기 검사 장치.제13 항에 있어서, 상기 평탄부는,상기 제1 기판과 제2 기판을 서로 연결하는 연결부; 및상기 연결부와 비탄성적으로 결합되고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제13 항에 있어서, 상기 평탄부는 서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합할 때 상기 제1 기판과 제2 기판 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심을 제외한 영역에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제15 항에 있어서, 상기 평탄부는 상기 제1 기판과 제2 기판 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심으로부터 가장자리를 100으로 기준할 때 상기 중심으로부터 70 이후의 외곽 영역에 적어도 두 개가 상기 중심을 기준으로 양쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제13 항에 있어서, 상기 연결부를 사용하여 제1 기판과 제2 기판을 연결시킬 때 상기 연결부를 고정시키는 연결-고정부; 및상기 조절부를 사용하여 연결부와 결합시킬 때 상기 조절부를 고정시키는 조절-고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제1 표면에는 피검사체와 전기적으로 접촉하는 프로브 팁들을 갖고, 상기 제1 표면에 대향하는 제2 표면에는 프로브 팁들과 전기적으로 연결되는 패드들을 갖는 제1 기판;상기 제1 기판의 가장자리를 파지하는 파지부;상기 제1 기판의 제1 표면과 마주하는 제3 표면을 갖고, 상기 제3 표면의 가장자리를 포함하는 외곽 부위는 상기 파지부와 마주하게 위치하는 제2 기판;서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판 사이에 개재되고, 상기 제1 기판의 제2 표면에 형성된 패드들과 접촉하여 상기 제1 기판과 제2 기판을 전기적으로 연결하는 전기-접촉부; 및서로 마주하는 상기 제2 기판과 파지부를 비탄성적으로 결합하고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 파지부에 파지된 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 평탄부를 포함하는 전기 검사 장치.제18 항에 있어서, 상기 평탄부는,상기 제2 기판과 파지부를 서로 연결하는 연결부; 및상기 연결부와 비탄성적으로 결합되고, 상기 비탄성적 결합을 조절함에 의해 상기 파지부에 파지된 제1 기판의 평탄 정도를 조절하는 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제18 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 제2 기판을 관통하는 홀로부터 상기 파지부에 형성된 홈에 연속적으로 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제2 기판의 홀에 의해 노출된 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제18 항에 있어서, 상기 연결부는 상기 파지부에 형성되는 홈에 끼워지는 구조를 갖고, 상기 조절부는 상기 제2 기판에 형성된 홀을 관통하여 상기 파지부에 형성된 홈에 끼워진 연결부와 나사 결합하는 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제18 항에 있어서, 상기 연결부를 사용하여 제1 기판과 파지부를 연결시킬 때 상기 홈에 끼워진 연결부와 결합하여 상기 연결부를 고정시키는 연결-고정부; 및상기 조절부를 사용하여 연결부와 결합시킬 때 상기 홀에 노출된 조절부와 결합하여 상기 조절부를 고정시키는 조절-고정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제18 항에 있어서, 상기 제3 표면과 대향하는 상기 제2 기판의 제4 표면과 면접하게 위치하여 상기 제2 기판의 구조를 보강하는 제1 보강부; 및상기 제2 기판의 제3 표면 일부에 면접하게 위치하면서 그 측면 일부는 상기 파지부의 측면 일부와 면접하게 위치하여 상기 제2 기판의 구조와 함께 상기 제1 기판의 구조를 보강하는 제2 보강부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제18 항에 있어서, 상기 평탄부는 서로 마주하는 상기 제1 기판과 제2 기판을 비탄성적으로 결합할 때 상기 제1 기판과 제2 기판 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심을 제외한 영역에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.제24 항에 있어서, 상기 평탄부는 상기 제1 기판과 제2 기판 중에서 그 크기가 상대적으로 작은 기판의 중심으로부터 가장자리를 100으로 기준할 때 상기 중심으로부터 70 이후의 외곽 영역에 적어도 두 개가 상기 중심을 기준으로 양쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는 전기 검사 장치.피검사체와 접촉 가능한 제1 표면을 갖는 제1 기판과 상기 제1 표면과 대향하는 제1 기판의 제2 표면과 마주하게 위치하는 제2 기판이 비탄성적으로 결합된 전기 검사 장치를 사용하여 상기 피검사체의 전기 검사를 수행할 때 상기 제1 기판의 평탄 정도를 확인하는 단계; 및상기 제1 기판의 평탄 정도가 오차 범위를 벗어날 경우, 상기 비탄성적 결합을 조절하여 상기 제1 기판의 평탄 정도를 오차 범위 이내로 조절하는 단계를 포함하는 전기 검사 장치의 평탄도 조절 방법.