요나스 앤드 레드만 아우토마치온스테크닉 게엠베하 / 독일, 베를린 *****, 로이칠린스트라세 **-**
대리인 / 주소
강명구;
김현석
심사청구여부
있음 (2013-04-23)
심사진행상태
등록결정(일반)
법적상태
소멸
초록▼
본 발명은 낮은 각도의 적재물을 가진 실리콘계 웨이퍼(2)와 같은 2차원 구성요소들을 고정하기 위한 그리퍼(1)에 관한 것으로서, 상기 그리퍼는 클램핑 링(4), 배플 플레이트(6), 베어링 링(10)의 고무를 입힌 베어링 표면(9) 및 흡입에 의해 그리핑 면(7)에 부착된 웨이퍼(2)를 감지하기 위한 센서(11)를 가지며, 상기 클램핑 링(4)은 제어가능한 로봇 암(3)에 연결되고, 상기 배플 플레이트(6)는 퍼널형 구성요소(5)에 의해 클램핑 링(4)에 연결되며 배플 플레이트(6)와 퍼널형 구성요소(5)를 통과하는 플로 시스템(
본 발명은 낮은 각도의 적재물을 가진 실리콘계 웨이퍼(2)와 같은 2차원 구성요소들을 고정하기 위한 그리퍼(1)에 관한 것으로서, 상기 그리퍼는 클램핑 링(4), 배플 플레이트(6), 베어링 링(10)의 고무를 입힌 베어링 표면(9) 및 흡입에 의해 그리핑 면(7)에 부착된 웨이퍼(2)를 감지하기 위한 센서(11)를 가지며, 상기 클램핑 링(4)은 제어가능한 로봇 암(3)에 연결되고, 상기 배플 플레이트(6)는 퍼널형 구성요소(5)에 의해 클램핑 링(4)에 연결되며 배플 플레이트(6)와 퍼널형 구성요소(5)를 통과하는 플로 시스템(8)과 소통하는 그리핑 면(7)을 가지고 이것에 의해, 그리퍼(1)에 과압이 가해지고 난 뒤, 흡입에 의해 그립되어야 하는 웨이퍼(2)를 부착하기 위하여 배플 플레이트(6)의 그리핑 면(7) 위에 음압이 생성되어야 하며, 상기 고무를 입힌 베어링 표면(9)은 그리핑 면(7) 내에 통합되고 흡입에 의해 그리핑 면(7)에 부착된 웨이퍼(2)가 미끄럼-방지 방식으로 이동한다. 극도의 내충격 방식으로 그립되어야 하는 웨이퍼를 그리퍼의 그리핑 면 위에 부착하기 위하여, 본 발명은 댐핑 장치(12)를 제공하는데, 이 댐핑 장치(12)는 그리퍼(1)에 원주방향으로 장착되고, 그리퍼(1)의 평면도면에서 볼 때, 댐핑 장치의 윤곽은 원주방향으로 그리퍼의 윤곽 위로 돌출하며, 상기 댐핑 장치(12)는 그리핑 면(7)을 향하는 흡입-유도 접근 동안 그립되어야 하는 웨이퍼(2)를 위한 댐핑 저항을 형성하여 이에 따라 상기 웨이퍼(2)가 베어링 링(10)의 고무를 입힌 베어링 표면(9)에 대해서 무충격 방식으로 지탱된다.
대표청구항▼
실리콘계 웨이퍼(2)와 같은 2차원 구성요소들을 고정하기 위한 그리퍼(1)로서,상기 그리퍼는 클램핑 링(4), 배플 플레이트(6), 베어링 링(10)의 베어링 표면(9) 및 댐핑 장치(12)를 가지며, 상기 클램핑 링(4)은 제어가능한 로봇 암(3)에 연결되고, 상기 배플 플레이트(6)는 퍼널형 구성요소(5)에 의해 클램핑 링(4)에 연결되며 배플 플레이트(6)와 퍼널형 구성요소(5)를 통과하는 플로 시스템(8)과 소통하는 그리핑 면(7)을 가지고 이것에 의해, 그리퍼(1)에 과압이 가해지고 난 뒤, 흡입에 의해 그립되어야 하는 웨
실리콘계 웨이퍼(2)와 같은 2차원 구성요소들을 고정하기 위한 그리퍼(1)로서,상기 그리퍼는 클램핑 링(4), 배플 플레이트(6), 베어링 링(10)의 베어링 표면(9) 및 댐핑 장치(12)를 가지며, 상기 클램핑 링(4)은 제어가능한 로봇 암(3)에 연결되고, 상기 배플 플레이트(6)는 퍼널형 구성요소(5)에 의해 클램핑 링(4)에 연결되며 배플 플레이트(6)와 퍼널형 구성요소(5)를 통과하는 플로 시스템(8)과 소통하는 그리핑 면(7)을 가지고 이것에 의해, 그리퍼(1)에 과압이 가해지고 난 뒤, 흡입에 의해 그립되어야 하는 웨이퍼(2)를 부착하기 위하여 배플 플레이트(6)의 그리핑 면(7) 위에 음압이 생성되어야 하며, 상기 베어링 링(10)의 베어링 표면(9)은 그리핑 면(7) 내에 통합되고 흡입에 의해 그리핑 면(7)에 부착된 웨이퍼(2)가 미끄럼-방지 방식으로 이동하며, 상기 댐핑 장치(12)는 그리퍼(1)에 원주방향으로 장착되고, 그리퍼(1)의 평면도면에서 볼 때, 댐핑 장치(12)의 윤곽은 원주방향으로 그리퍼(1)의 그 외 다른 모든 구성요소(4, 5, 6)들의 윤곽 위로 돌출하며, 상기 댐핑 장치(12)는 그리핑 면(7)을 향하는 흡입-유도 접근 동안 그립되어야 하는 웨이퍼(2)를 위한 댐핑 저항을 형성하여 이에 따라 상기 웨이퍼(2)가 베어링 링(10)의 베어링 표면(9)에 대해서 무충격 방식으로 지탱되는 그리퍼에 있어서,-상기 베어링 링(10)의 베어링 표면(9)은 고무가 입혀져 있으며,-그리퍼(1)에 원주방향으로 장착된 댐핑 장치(12)는 탄성 브리슬(13)을 포함하고, 그리퍼(1)의 횡방향 도면에서 볼 때, 상기 탄성 브리슬(13)은 그리퍼(1)의 그 외 다른 모든 구성요소(4, 5, 6)들을 초과하여 1.5mm 내지 3.5mm 사이 범위의 수치(d)만큼 돌출하고 첫 번째 접촉 시에 그리핑 면(7)을 향하는 흡입-유도 접근 동안 그립되어야 하는 웨이퍼(2)를 위한 댐핑 저항을 형성하며,-흡입에 의해 그리핑 면(7)에 부착된 웨이퍼(2)를 감지하기 위한 정전용량형 센서(11)가 그리퍼(1) 위에 제공되는 그리퍼.
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