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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0071800 (2010-07-26) |
공개번호 | 10-2012-0010344 (2012-02-03) |
등록번호 | 10-1151421-0000 (2012-05-23) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100071800 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-07-26) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 RF 전력 분배 장치 및RF 전력 분배 방법을 제공한다. 이 장치는 RF 전원의 전력을 전달하는 임피던스 매칭 네트워크, 및 진공 용기의 내부에 배치되어 축전 결합 플라즈마를 생성하는 전극 및 상기 진공 용기의 주위에 배치되어 유도 결합 플라즈마를 생성하는 유도 안테나에 임피던스 매칭 네트워크의 출력 전력을 분배하는 전력 분배부를 포함한다. 제1 부하는 전극 및 유도 안테나 중에서 어느 하나로 선택되고, 제2 부하는 전극 및 유도 안테나 중에서 다른 어느 하나로 선택된다. 전력 분배부는 제1 부하에 직렬 연결된 제1 리액
RF 전원의 전력을 부하에 전달하는 임피던스 매칭 네트워크; 및진공 용기의 내부에 배치되어 축전 결합 플라즈마를 생성하는 전극 및 상기 진공 용기의 주위에 배치되어 유도 결합 플라즈마를 생성하는 유도 안테나에 상기 임피던스 매칭 네트워크의 출력 전력을 상기 부하인 상기 전극 및 상기 유도 안테나에 분배하는 전력 분배부를 포함하고,제1 부하는 상기 전극 및 상기 유도 안테나 중에서 어느 하나로 선택되고, 제2 부하는 상기 전극 및 상기 유도 안테나 중에서 다른 어느 하나로 선택되고,상기 부하와 상기 임피던스 매칭 네트워크 사이에 배치
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