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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0090955 (2016-07-18) | |
공개번호 | 10-2018-0009250 (2018-01-26) | |
등록번호 | 10-2031903-0000 (2019-10-07) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160090955 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-11-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반송모듈, 공정모듈 등에 결합되어 기판의 얼라인 후 반송모듈, 공정모듈 등에 기판을 공급하기 위한 얼라인모듈에 관한 것이다.본 발명은, 외부로부터 2장의 직사각형 기판(1)들이 도입된 후 수평방향으로 평행하게 배치된 상태에서 상기 2장의 직사각형 기판(1)들의 수평위치를 정렬하는 얼라인모듈을 개시한다.
외부로부터 2장의 직사각형 기판(1)들이 도입된 후 수평방향으로 배치된 상태에서 상기 2장의 직사각형 기판(1)들의 수평위치를 정렬하는 얼라인모듈로서,밀폐된 내부공간을 형성하는 얼라인챔버(100)와; 상기 얼라인챔버(100)에 설치되어 상기 2장의 기판(1)들을 지지하는 기판지지부재(130)와; 상기 얼라인챔버(100)에 설치되어 상기 기판지지부재(130)들에 의하여 지지된 2장의 직사각형 기판(1)들의 수평위치를 정렬하는 얼라인부(200)를 포함하며,상기 얼라인부(200)는,상기 2장의 직사각형 기판(1)들이 이루는 제1직사각형의
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