초록 ▼

본 발명은, 멀티존을 갖는 정전척 히터의 제어 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 둘 이상의 히팅존이 형성되는 메인 히터와, 메인 히터보다 작은 크기의 히팅존이 메인 히터보다 많은 갯수로 형성되는 마이크로 히터가 상호 층상으로 결합되어 구비됨으로써, 메인 히터로서 전체적인 가열을 진행하고, 마이크로 히터로서 세부 온도 조절이 가능하여, 척킹 플레이트 상면에 안착된 웨이퍼의 온도를 균일하게 제어할 수 있고, 마이크로 히터의 각 히팅존에 대응된 온도 측정 포인트의 실제 측정값으로써 메인 히터 또는 마이크로 히터의 인가 전원을 제

본 발명은, 멀티존을 갖는 정전척 히터의 제어 시스템에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 둘 이상의 히팅존이 형성되는 메인 히터와, 메인 히터보다 작은 크기의 히팅존이 메인 히터보다 많은 갯수로 형성되는 마이크로 히터가 상호 층상으로 결합되어 구비됨으로써, 메인 히터로서 전체적인 가열을 진행하고, 마이크로 히터로서 세부 온도 조절이 가능하여, 척킹 플레이트 상면에 안착된 웨이퍼의 온도를 균일하게 제어할 수 있고, 마이크로 히터의 각 히팅존에 대응된 온도 측정 포인트의 실제 측정값으로써 메인 히터 또는 마이크로 히터의 인가 전원을 제어함으로써, 실제 웨이퍼의 온도가 전 구간에 걸쳐 원하는 온도로 형성되며, 마이크로 히팅존의 입력측과 출력측을 복수의 열과 행으로 이루어진 노드로 묶어 열을 이루는 노드는 전원단에, 행을 이루는 노드는 그라운드단에 선택적으로 연결되도록 구성함으로써, 마이크로 히팅존을 제어하기 위한 물리적 구조를 간략화할 수 있는 멀티존을 갖는 정전척 히터의 제어 시스템에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

상편이 평면인 세라믹 플레이트와, 상기 세라믹 플레이트 내부에 삽입되는 전극으로 이루어져, 상기 전극에 전원이 인가될 시 세라믹 플레이트의 상면에 정전기가 발생되어 상기 세라믹 플레이트의 상면에 안착된 웨이퍼를 고정시키는 척킹 플레이트;상기 척킹 플레이트의 하부에 구비되어 전원의 인가시 발열되어 상기 척킹 플레이트를 가열시키되, 적어도 둘 이상의 선택적으로 가열되는 메인 히팅존이 형성되는 메인 히터와, 상기 메인 히터와 상면 또는 하면을 접하도록 구비되며 상기 메인 히팅존보다 작은 크기의 마이크로 히팅존이 상기 메인 히팅존보다 많은

상편이 평면인 세라믹 플레이트와, 상기 세라믹 플레이트 내부에 삽입되는 전극으로 이루어져, 상기 전극에 전원이 인가될 시 세라믹 플레이트의 상면에 정전기가 발생되어 상기 세라믹 플레이트의 상면에 안착된 웨이퍼를 고정시키는 척킹 플레이트;상기 척킹 플레이트의 하부에 구비되어 전원의 인가시 발열되어 상기 척킹 플레이트를 가열시키되, 적어도 둘 이상의 선택적으로 가열되는 메인 히팅존이 형성되는 메인 히터와, 상기 메인 히터와 상면 또는 하면을 접하도록 구비되며 상기 메인 히팅존보다 작은 크기의 마이크로 히팅존이 상기 메인 히팅존보다 많은 갯수로 형성되어 선택적으로 가열되는 마이크로 히터를 포함하는 히터 플레이트;상기 메인 히터 또는 상기 마이크로 히터에 인가되는 전원을 조절하는 제어부;상기 마이크로 히팅존 위치에 대응되는 온도 측정 포인트가 형성된 온도 측정부;를 포함하되,상기 제어부는, 상기 온도 측정부의 각 상기 온도 측정 포인트별 측정값을 토대로 상기 메인 히터 또는 상기 마이크로 히터에 인가되는 전원을 조절하는 멀티존을 갖는 정전척 히터의 제어 시스템.