초록 ▼

본 개시내용의 구현들은 반도체 제조 프로세스의 폐기물에 존재하는 F-가스들을 저감하기 위한 시스템들 및 기술들에 관한 것이다.일 구현에서, 플라즈마 저감 시스템을 위한 물 및 산소 전달 시스템이 제공된다.물 및 산소 전달 시스템은 폐쇄 영역을 한정하는 복수의 측벽들 및 바닥을 포함하는 하우징을 포함한다.물 및 산소 전달 시스템은 바닥에 포지셔닝된 원통형 물탱크를 더 포함하며, 원통형 물탱크의 세로 축은 바닥에 의해 한정된 평면에 평행하고 물탱크의 길이는 원통형 물탱크의 직경의 1.5배 이상이다.물 및 산소 전달 시스템은 하우징 내에

본 개시내용의 구현들은 반도체 제조 프로세스의 폐기물에 존재하는 F-가스들을 저감하기 위한 시스템들 및 기술들에 관한 것이다.일 구현에서, 플라즈마 저감 시스템을 위한 물 및 산소 전달 시스템이 제공된다.물 및 산소 전달 시스템은 폐쇄 영역을 한정하는 복수의 측벽들 및 바닥을 포함하는 하우징을 포함한다.물 및 산소 전달 시스템은 바닥에 포지셔닝된 원통형 물탱크를 더 포함하며, 원통형 물탱크의 세로 축은 바닥에 의해 한정된 평면에 평행하고 물탱크의 길이는 원통형 물탱크의 직경의 1.5배 이상이다.물 및 산소 전달 시스템은 하우징 내에서 원통형 물탱크 위에 포지셔닝된 유량 제어 시스템을 더 포함한다.

대표청구항 ▼

방법으로서,처리 챔버로부터의 폐기물(effluent)을 포어라인을 통해 플라즈마 소스로 흐르게 하는 단계 ― 상기 폐기물은 불소화(fluorinated) 온실 가스를 포함함 ―;수증기 및 산소를 포함하는 저감 시약(abating reagent)을 상기 포어라인을 통해 상기 플라즈마 소스로 전달하는 단계 ― 상기 저감 시약을 전달하는 단계는:상기 포어라인과 유체적으로 결합된 제1 도관을 통해 제1 시약 소스로부터의 상기 수증기를 상기 포어라인으로 전달하는 단계; 및상기 제1 도관과 유체적으로 결합된 제2 도관을 통해 제2 시약 소스로

방법으로서,처리 챔버로부터의 폐기물(effluent)을 포어라인을 통해 플라즈마 소스로 흐르게 하는 단계 ― 상기 폐기물은 불소화(fluorinated) 온실 가스를 포함함 ―;수증기 및 산소를 포함하는 저감 시약(abating reagent)을 상기 포어라인을 통해 상기 플라즈마 소스로 전달하는 단계 ― 상기 저감 시약을 전달하는 단계는:상기 포어라인과 유체적으로 결합된 제1 도관을 통해 제1 시약 소스로부터의 상기 수증기를 상기 포어라인으로 전달하는 단계; 및상기 제1 도관과 유체적으로 결합된 제2 도관을 통해 제2 시약 소스로부터의 상기 산소를 상기 포어라인으로 전달하는 단계를 포함함 ―; 및상기 불소화 온실 가스를 저감된 재료로 전환하기 위해 상기 플라즈마 소스에 의해 형성되는 플라즈마를 사용하여 상기 폐기물 및 상기 저감 시약을 활성화하는 단계를 포함하는,방법.