초록

[과제] 복수의 증착원과, 각각의 증착원에 대응하는 셔터를, 갖는 클러스터형의 증착 장치에 있어서, 장치의 대형화를 초래하지 않고, 상시 증착 레이트를 모니터 할 수 있는 구성을 제공한다.[해결 수단] 증착원(1, 2)과, 증착원(1, 2)의 증착·비증착을 제어하는 셔터(5, 6)를, 갖는 증착 장치에 있어서, 셔터(5, 6)의 높이를 서로 다르게 해, 열린 상태에 있어서 서로 겹치도록 배치하고, 더욱, 열린 상태에서 셔터 5, 6 사이를 사이에 두는 격벽(12)을 배치한다.

대표청구항

수평방향으로 나란히 배치한 두개의 증착원과, 상기 두개의 증착원의 각각의 개구부의 상방에 배치된 두개의 셔터를, 갖는 증착 장치로서,상기 두개의 셔터는, 서로 높이가 다르고, 또한, 수평방향으로 이동함에 의해 개폐하고, 수직방향으로부터의 평면에서 보았을 때에 있어서 열린 상태에서 서로 겹치는 영역을 갖고,상기 겹치는 영역에 있어서, 상기 두개의 셔터의 사이를 사이에 두는 격벽을 갖는 것을 특징으로 하는 증착 장치.

수평방향으로 나란히 배치한 두개의 증착원과, 상기 두개의 증착원의 각각의 개구부의 상방에 배치된 두개의 셔터를, 갖는 증착 장치로서,상기 두개의 셔터는, 서로 높이가 다르고, 또한, 수평방향으로 이동함에 의해 개폐하고, 수직방향으로부터의 평면에서 보았을 때에 있어서 열린 상태에서 서로 겹치는 영역을 갖고,상기 겹치는 영역에 있어서, 상기 두개의 셔터의 사이를 사이에 두는 격벽을 갖는 것을 특징으로 하는 증착 장치.