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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록실용신안 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-2020-0003695 (2020-10-15) | |
공개번호 | 20-2020-0002355 (2020-10-26) | |
등록번호 | 20-0494277-0000 (2021-09-02) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/2020200003695 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-10-15) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 목적은 내부에 물질 증발 모니터링을 위한 별도의 수단 없이도 증발원의 증발량을 일정하게 유지할 수 있는 증발원을 제공하고자 하는 것이다. 이러한 구성은 설비비와 유지비 비용 발생을 최소화 할 수 있다.상기 목적에 따라 본 발명은, 증착 시스템에 있어서, 물질을 용융하여 액화하는 액화기;상기 액화기로부터 유입된 용융물을 기화하는 기화기;상기 기화기로부터 연장되어 증발물이 분사되는 노즐을 구비한 투입구; 및상기 액화기와 상기 기화기 사이를 연결하는 통로에, 액화된 물질이 기화기로 유입되는 양을 제어하는 컨트롤러;를 포함하여,
증착 시스템에 있어서, 물질을 용융하여 액화하는 액화기;상기 액화기의 하단에 설치된 액화물질의 통로;상기 통로에 액화된 물질이 기화기로 유입되는 양을 제어하는 컨트롤러;상기 통로와 상기 컨트롤러를 통과하여 액화기로부터 유입된 용융물을 즉시 기화시키는 기화기; 및상기 기화기로부터 연장되어 증발물이 분사되는 노즐을 구비한 투입구;를 포함하고, 상기 컨트롤러를 통과한 액화물질은 컨트롤러 아래 쪽에 배치된 기화기로일정한 유속으로 액화물질이 흘러 유입되고, 상기 기화기는, 기화기로 액화된 물질이 유입되는 통로 상부 내벽으로부터 기화기 저면을
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