$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

[국가R&D연구보고서] 차세대 화합물 반도체 재료의 결정성장기술
Advanced Crystal Growth Technology of the Compound Semiconductor Materials 원문보기

보고서 정보
주관연구기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
연구책임자 민석기
참여연구자 김무성 , 김현수 , 김용태 , 김은규 , 박승철 , 한철원 , 박용주 , 조훈영 , 김용 , 엄경숙 , 김성일 , 김춘근 , 심광보 , 윤주훈
발행국가대한민국
언어 한국어
발행년월1989-06
주관부처 과학기술부
연구관리전문기관 한국과학기술연구원
Korea Institute Of Science and Technology
등록번호 TRKO200200000952
DB 구축일자 2013-04-18
키워드 화합물 반도체.결정성장.이종접합.GaAs.Crystal growth.VGF.GaAs-on Si.

초록 ▼

DM 전기로를 사용하여 VGF 결정성장장치를 제작하였다. 이 장치의 특징은 결정성장 전과정의 온도제어를 자동화한 것과 고온가열및 냉각반응 속도를 단축시키고 결정성장시로의 내부를 육안으로 관찰할 수 있는 점등이다. 이 장치를 이용하여 직경 1인치,길이 10cm의 Undoped GaAs 원형 단결정을 성장시키고 전위밀도를 측정한 결과 약 5000개/cm²이하로서 기존의 LEC 및 HB GaAs보다 더 양질의 단결정을 얻을 수 있음을 확인하였다. 또 MOCVD 법에 의해 실리콘 기판위에 GaAs 에피결정을 성장하고 성장층의 표면상태,결정

목차 Contents

  • 제1장 서 론...25
  • 제1절 연구개발의 목적과 범위...25
  • 제2절 연구사업 수행의 배경...26
  • 제3절 보고서의 구성...29
  • 제2장 VGF 결정성장 장치...30
  • 제1절 VGF 결정성장법의 개요...30
  • 제2절 VGF 결정성장원리 및 방법...34
  • 제3절 VGF 결정성장로의 설계 및 제작...47
  • 제4절 FICS-11...59
  • 제3장 VGF법에 의한 GaAs 단결정 성장 및 특성평가...69
  • 제1절 VGF GaAs 단결정 성장...69
  • 제2절 VGF GaAs 단결정의 특성평가...92
  • 제4장 Bulk GaAs의 물성연구...123
  • 제1절 무전위 GaAs:In의 급속열처리 효과...123
  • 제2절 EL2 준위에 대한 Photocapacitance Quenching과 열회복 현상...131
  • 제3절 GaAs내의 Deep Level에 대한 수소화 효과...140
  • 제4절 Bulk GaAs내의 Deep Level들과 그들 사이의 관련성...149
  • 제5장 GaAs-on-si 이종접합연구...152
  • 제1절 GaAs-on-si 기술...152
  • 제2절 MOCVD법에 의한 GaAs-on-sit성장...162
  • 제3절 GaAs-on-si의 결정구조특성...179
  • 제6장 종합적 결론 및 건의사항...200
  • 제1절 종합적 결론...200
  • 제2절 건의사항...203
  • 참고문헌...204
  • 부록...216

연구자의 다른 보고서 :

참고문헌 (25)

활용도 분석정보

상세보기
다운로드
내보내기

활용도 Top5 보고서

해당 보고서가 속한 카테고리에서 활용도가 높은 상위 5개 콘텐츠를 보여줍니다.
더보기 버튼을 클릭하시면 더 많은 관련자료를 살펴볼 수 있습니다.

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로