최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기주관연구기관 | 가천대학교 |
---|---|
연구책임자 | 조의식 |
보고서유형 | 최종보고서 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 2013-07 |
과제시작연도 | 2012 |
주관부처 | 교육과학기술부 |
사업 관리 기관 | 한국연구재단 |
등록번호 | TRKO201400006536 |
과제고유번호 | 1345168228 |
사업명 | 신진연구지원사업(연구비지원) |
DB 구축일자 | 2014-05-31 |
○ 연구내용별 연구성과 (과제 사사) : 국제논문 8편(SCI 5편), 국내특허 1편 등록, 국내논문 3편
① 투명 산화물 박막의 레이저 패터닝 적용 및 형성된 패턴 특성 분석 (국제논문 3편)
▪ Laser ablation of amorphous indium gallium zinc oxide films deposited by different RF powers (Microelectronic Engineeing, 95, 107-111)
-반도체용 IGZO 박막의 증착 조건에 따른 laser direct pattern
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.